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電子無塵車間需要哪些設備來保證潔凈度?

電子無塵車間是電子制造行業中重要的生產環境,廣泛應用于半導體、液晶顯示、精密儀器、光電元件等領域。其主要任務是控制空氣中的塵埃粒子、微生物及溫濕度,避免產品在生產過程中受到污染。為了達到并維持所需的潔凈等級,電子無塵車間需配備一系列專業設備。

一、空氣凈化設備

1. 初效、中效、高效過濾器(HEPA)

   ● 用于分級過濾空氣中的塵埃顆粒,HEPA過濾器可有效攔截0.3微米以上的微粒,是保持潔凈度的核心設備。

2. 風淋室

   ● 人員進出車間時必須通過風淋室,利用高速潔凈氣流吹除人體和衣物上的塵粒,避免污染源進入潔凈區。

3. 潔凈工作臺

   ● 提供局部高潔凈作業空間,適用于關鍵工序或核心裝配區域,通常配有垂直或水平層流系統。

4. FFU(風機過濾單元)

   ● 集成風機與高效過濾器的模塊化設備,可靈活布置于天花板或設備內部,實現潔凈空氣循環供應。

二、環境控制設備

1. 溫濕度控制系統

   ● 精確控制車間溫度與濕度,防止靜電產生和元件受潮,保證電子產品性能穩定。

2. 潔凈空調系統(HVAC)

   ● 與凈化系統聯動運行,實現空氣過濾、溫濕調節與送風壓差控制,是整個潔凈室環境調控的核心。

電子無塵車間

電子無塵車間

三、防靜電設備

1. 靜電消除器

   ● 安裝于工作區域或設備端口,用于中和物體表面靜電,防止電子元件受損。

2. 防靜電地板、服裝和工具

   ● 保證工作人員與設備接觸過程中不產生靜電積累,防范靜電放電風險。

四、潔凈監控與管理系統

1. 潔凈度在線監測儀

   ● 實時監測車間內空氣粒子濃度,確保潔凈等級始終符合標準要求。

2. 壓差監控系統

   ● 控制不同潔凈等級區域之間的空氣流向,確保潔凈空氣由高等級區域流向低等級區域。

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